四探針測試儀是一種廣泛使用的電學(xué)測試工具，它可以用于測量材料的電阻率、導(dǎo)電性和薄膜厚度等參數(shù)。該儀器由四根細小的探針組成，這些探針被安裝在一個固定的距離上，并通過電路與測量設(shè)備相連。
四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備，該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的，專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
在使用四探針測試儀時，首先需要將待測材料放置在探針之間，然后通過外部電源施加電流。隨后，測量設(shè)備會自動記錄四個探針之間的電壓差，并據(jù)此計算出待測材料的電阻率。
由于四探針測試儀的探針之間距離很小，因此能夠有效地避免接觸電阻的影響。此外，該儀器還可以通過改變電流大小來測量不同范圍內(nèi)的電阻率值。例如，在測量高電阻率材料時，可以使用較小的電流，而在測量低電阻率材料時，則需要使用更大的電流。
四探針測試儀還可以用于測量導(dǎo)電性和薄膜厚度等特殊參數(shù)。當(dāng)進行導(dǎo)電性測試時，四個探針被連接到不同的表面，以便測試顆粒、薄膜或其他導(dǎo)電材料的電導(dǎo)率。在測量薄膜厚度時，四個探針分別測量沉積物的電阻率，并根據(jù)材料的電學(xué)性質(zhì)計算出其厚度。
總之，四探針測試儀是一種非常有用的電學(xué)測試工具，可以用于測量材料的電學(xué)特性。該儀器具有高精度、寬測量范圍和易于使用等優(yōu)點，在材料研究、生產(chǎn)制造和質(zhì)量控制等方面都得到了廣泛應(yīng)用。
