高溫四探針電阻測試儀

高溫四探針電阻測試儀

一、概述：采用由四探針雙電測量方法測試方阻和電阻率系統與高溫試驗箱結合配置的高溫測試探針治具，滿足半導體材料因溫度變化對電阻值變化的測量要求，通過良好的測控軟件可以顯示出溫度與電阻，電阻率，電導率數據的變化曲線，是檢驗和分析導體材料和半導體材料質量的一種重要的工具。

二、適用行業：廣泛用于：生產企業、高等院校、科研部門對導電陶瓷、硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導電玻璃（ITO）和其它導電薄膜的方塊電阻、電阻率和電導率數據.

三、功能介紹：液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能，電阻率單位自動選擇，儀器自動測量并根據測試結果自動轉換量程，無需人工多次和重復設置。采用高精度AD芯片控制，恒流輸出，結構合理、質量輕便，運輸安全、使用方便；配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數據，自動生成報表；

本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。

測試治具可以根據產品及測試項目要求選購.

雙電測數字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設計符合單晶硅物理測試方法標準并參考美國 A.S.T.M 標準。利用電流探針、電壓探針的變換，進行兩次電測量，對數據進行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提高度，特別是適用于斜置式四探針對于微區的測試。

高溫四探針電阻測試儀

四、技術參數資料

1.方塊電阻范圍：10^-5～2×10⁵Ω/□

2.電阻率范圍：10^-6×10⁶cm

3.測試電流范圍：0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA

4.電流精度：±0.1%讀數

5.電阻精度：≤0.3%

6.顯示讀數：液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率

7.測試方式: 雙電測量

8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<30W

9.整機不確定性誤差: ≤4%（標準樣片結果）

10. zui高溫度： 1200℃可調節；沖溫值：≤1-3℃；控溫精度：±1°C

11、升溫速度：9999分鐘以內自由設定,一般10分鐘內即可升到900℃；功率：3kw.

12、爐膛材料：采用復合陶瓷纖維材料，具有真空成型，高溫不掉粉的特征。

13.測試PC軟件一套，USB通訊接口，軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數據！

14.選購：電腦和打印機